青木 ゆうい（あおき ゆうい）さん （工学府・博士前期課程電気電子工学専攻1年）
私立豊島岡女子学園高等学校2012年卒業 指導教員：涌井 伸二先生
●参加学会： 2016 International Conference on Advanced Mechatronic
Systems
http://web.tuat.ac.jp/~deng/icamechs2016/icamechs2016.html （学会プログラム：23P E03-01）
●テーマ：「Pressure Mode Control of Pneumatic Isolation Table with Two
Degrees-of-Freedom」
●内 容： スマートフォンなどに使われるICチップは日々微細化が進み、 その製造を支える空圧式除振台の性能向上のために、圧力モー ド制御を提案しました。モード制御では、制御する信号から台 の傾きを計算し、その傾きの制御を行うものです。これを圧力 にも使うことで応答がより高速化しました。さらに、空気ばね の大量生産において避けられない特性のばらつきに対して、モ ード制御を細かく調整して補償を行いました。 |  |